深圳市中图仪器股份有限公司

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产品详情

中图仪器SJ6000激光干涉仪

价    格:电议 / 套
数    量:大量
新型号:SJ6000
所属类型:其它仪器
品牌:中图仪器
发布时间:2018-05-18 10:56:00
所在地:广东 深圳
  • 产品信息
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  • 规格:SJ6000
  • 品牌:中图仪器
  • 用途:运动精度测量

激光干涉仪可对机床、三测机及各种定位装置进行高精度的(位置和几何)精度校正,并可完成按标准测量各项参数,如线形位置精度、重复定位精度、角度、直线度、垂直度、平面度及平行度等。另外,它还具有若干为机床厂商和用户所欢迎的选择功能,如自动螺距误差补偿(适用大多数控系统),机床动态特性测量与评估,回转坐标分度精度标定,触发脉冲输入、输出功能等。

中图仪器SJ6000激光干涉仪采用美国进口高稳定氦氖激光器、激光双纵模热稳频技术,实现快速(约6分钟)、高精度(0.05ppm)、抗干扰能力强、长期稳定性好的激光输出;采用高精度环境补偿模块、高精度激光干涉信号处理系统、高性能计算机控制系统技术,结合线性镜组能实现0.5ppm精度的线性测量;结合相应镜组还能实现角度、直线度(平行度)、平面度、垂直度、回转轴等参数的测量,并进行动态分析。

中图仪器SJ6000激光干涉仪性能特点:
1.测量精度高、速度快,稳定性好

①使用美国高性能氦氖激光器,结合伺服稳频控制系统,达到高精度稳频(0.05ppm)

②以光波长(633nm)为测量单位,分辨率可达nm级

③使用高速光电信号采样和处理技术,测量速度可达到4m/s。

④配合有环境补偿单元,在环境变化的情况下,也可以得到较高的测量精度

⑤分离式干涉镜设计,避免了测量镜组由于主机发热而引起的镜组形变

2.应用范围广

①可以实现线性、角度、直线度、垂直度、平面度等几何量的检测

②结合我们的软件系统,可以用于速度,加速度,振动分析以及稳定度等分析

③可实时监控精密加工机床等机器的动态数据,进行动态特性分析

3.软件界面友好

①使用当前热门的软件界面开发工具,软件界面人性化,操作简单。

②将静态测量和动态测量两种功能合并到一个软件中,更方便用户切换测量类型。

③向导式操作,流程清晰,更符合国内用户的使用习惯。

4性价比高

性能达到了国外仪器的水准,价格是国内仪器的良心价。

中图仪器SJ6000激光干涉仪技术参数:

系统性能

²   测量方式:单频

²   稳频精度:0.05ppm

²   动态采集频率:50 kHz

²   预热时间:约6分钟

²   工作温度范围:(0~40)℃

²   环境温度范围:(0~40)℃,环境湿度:(0~95)%RH

²   存储温度范围:(-20~70)℃

环境补偿示值误差

²   空气温度传感器:±0.1℃(0~40)℃,分辨力0.01℃

²   材料温度传感器:±0.1℃(0~40)℃,分辨力0.01℃

²   空气湿度传感器:±6%RH  (0~95) %RH

²   大气压力传感器:±0.1kPa

线性测量

²   测量距离:(0~40)m

²   测量精度:0.5ppm (0~40)℃

²   测量分辨力:1nm

²   测量最大速度:4m/s

角度测量

²   轴向量程:(0~15)m

²   测量范围:±10°

²   测量精度:±(0.04%R)″ (R为显示值,单位:″)

²   测量分辨力:0.1″

平面度测量

²   轴向量程:(0~15)m

²   测量范围:±1.5 mm

²   测量精度:±(0.6%R+0.02 M2) μm  (R为显示值,单位:μm;M为测量距离,单位:m)

²   基板尺寸:180mm可调,360mm可调

测量分辨力:0。1μm

直线度测量

²   轴向量程:(0。1~4。0)m

²   测量范围:±3mm

²   测量精度:±(0。5+0。1%R +0。1M2) μm  (R为显示值,单位:μm;M为测量距离,单位:m)

²   测量分辨力:0。01μm

垂直度测量

²   轴向量程:(0.1~3.0)m

测量范围:±3mm

²   测量精度:±(0.5+0.5%R+0.2M)″  (R为显示值,单位:″;M为测量距离,单位:m)

²   测量分辨力:0。01μm/m

回转轴精度测量

²   角度测量范围:(0~360)°

²   测量精度:±1″

最高转速:10rpm

锂电池供电,蓝牙传输数据。

中图仪器SJ6000激光干涉仪使用注意事项:

•  (1)避免现场与仪器箱内温差较大时,直接开箱使用;

•  (2)运输、使用中避免剧烈碰撞;

•  (3)仪器线缆要防止碾、压,线缆接口防止变形;

•  (4)多尘的环境中,要注意光学镜组放尘,测量间隙较长时,注意将激光光闸关闭,防止灰尘进入激光器;

•  (5)清洗光学镜组要使用高质量的擦拭纸、清洗液。

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