深圳市中图仪器股份有限公司

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产品详情

国产激光干涉仪

价    格:电议 / 套
数    量:大量
新型号:SJ6000
所属类型:其它仪器
品牌:中图仪器
发布时间:2018-05-18 10:56:00
所在地:广东 深圳
  • 产品信息
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  • 规格:SJ6000
  • 品牌:中图仪器
  • 用途:运动精度测量

 激光具有高强度、高度方向性、空间同调性、窄带宽和高度单色性等优点,激光干涉仪,则是以激光波长为已知长度,利用迈克耳逊干涉系统测量位移的通用长度测量。激光干涉仪是激光在计量领域中最成功的应用之一。


国产激光干涉仪(SJ6000)采用美国进口高稳定氦氖激光器、激光双纵模热稳频技术,实现快速(约6分钟)、高精度(0.05ppm)、抗干扰能力强、长期稳定性好的激光输出;采用高精度环境补偿模块、高精度激光干涉信号处理系统、高性能计算机控制系统技术,结合线性镜组能实现0.5ppm精度的线性测量;结合相应镜组还能实现角度、直线度(平行度)、平面度、垂直度、回转轴等参数的测量,并进行动态分析。

国产激光干涉仪(SJ6000)工作原理:
激光干涉仪发射单一频率光束射入线性干涉镜,然后分成两道光束,一道光束(参考光束)射向连接分光镜的反射镜,而第二道透射光束(测量光束)则通过分光镜射入第二个反射镜,这两道光束再反射回到分光镜,重新汇聚之后返回激光器,其中会有一个探测器监控两道光束之间的干涉(见图)。若光程差没有变化时,探测器会在相长性和相消性干涉的两极之间找到稳定的信号。若光程差有变化时,探测器会在每一次光程变化时,在相长性和相消性干涉的两极之间找到变化信号,这些变化会被计算并用来测量两个光程之间的差异变化。



国产激光干涉仪(SJ6000)技术参数:
     系统性能

²   测量方式:单频

²   稳频精度:0。05ppm

²   动态采集频率:50 kHz

²   预热时间:约6分钟

²   工作温度范围:(0~40)℃

²   环境温度范围:(0~40)℃,环境湿度:(0~95)%RH

²   存储温度范围:(-20~70)℃

      环境补偿示值误差

²   空气温度传感器:±0.1℃(0~40)℃,分辨力0.01℃

²   材料温度传感器:±0.1℃ (0~40)℃,分辨力0.01℃

²   空气湿度传感器:±6%RH  (0~95) %RH

²   大气压力传感器:±0.1kPa

      线性测量

²   测量距离:(0~40)m

²   测量精度:0。5ppm (0~40)℃

²   测量分辨力:1nm

²   测量最大速度:4m/s

      角度测量

²   轴向量程:(0~15)m

²   测量范围:±10°

²   测量精度:±(0.04%R)″ (R为显示值,单位:″)

²   测量分辨力:0。1″

      平面度测量

²   轴向量程:(0~15)m

²   测量范围:±1。5 mm

²   测量精度:±(0.6%R+0.02 M2) μm  (R为显示值,单位:μm;M为测量距离,单位:m)

²   基板尺寸:180mm可调,360mm可调

测量分辨力:0.1μm

      直线度测量

²   轴向量程:(0.1~4.0)m

²   测量范围:±3mm

²   测量精度:±(0.5+0.1%R +0.1M2) μm  (R为显示值,单位:μm;M为测量距离,单位:m)

²   测量分辨力:0.01μm

      垂直度测量

²   轴向量程:(0。1~3。0)m

测量范围:±3mm

²   测量精度:±(0.5+0.5%R+0.2M)″  (R为显示值,单位:″;M为测量距离,单位:m)

²   测量分辨力:0.01μm/m

      回转轴精度测量

²   角度测量范围:(0~360)°

²   测量精度:±1″

最高转速:10rpm

锂电池供电,蓝牙传输数据。

 

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